Na de installatie van ATEX apparatuur is het verplicht de apparatuur te onderwerpen aan een grondige inspectie voordat deze in gebruikt genomen wordt. De inspectie methoden zijn beschreven in de NEN-EN-IEC 60079-17:2014.

In de praktijk blijkt dat vele ATEX installaties niet correct zijn aangelegd of dat tijdens gebruikt defecten aan de apparaten zijn ontstaan. Door periodieke inspecties zullen deze eventuele gebreken aan het licht moeten komen zodat hierop de juiste acties ondernomen kunnen worden. Om goed te kunnen inspecteren is het noodzakelijk om kennis te hebben van de installatienorm NEN-EN-IEC 60079-14:2014

Tijdens deze inspectie wordt vastgesteld of alle apparatuur juist gekozen is voor de betreffende zonering. Daarnaast wordt er gelet op beschermingswijze afhankelijke aandachtspunten als ATEX markeringen, apparaat categorie, temperatuurklasse, gasgroep, wartel- en kabelkeuze, berekeningen van intrinsiek veilige circuits, beveiligingen, afdichtingen, etc. Het uitvoeren van metingen zoals aardingsweerstand-, impedantie- en isolatieweerstandsmetingen behoort ook bij de gedetailleerde ATEX inspectie.

Vervolgens dienen er periodieke visuele en nauwkeurige ATEX inspecties ingepland en uitgevoerd te worden, ook conform ATEX 153 op basis van NEN-EN-IEC60079-17 om te kunnen controleren of de ATEX apparatuur voldoende wordt onderhouden en er geen gebreken optreden die de explosieveiligheid in gevaar brengen.

Voor niet-elektrische apparatuur in de ATEX omgevingen geldt dat deze na 30 juni 2003 eveneens moet voldoen aan ATEX 95 en vanaf 20 april 2016 aan ATEX 114. Bestaande apparatuur van vóór 30 juni 2003 dient beoordeeld te worden op basis van een ontstekingsanalyse en risicobeoordeling volgens de EN13463 serie normen.